## 第３【設備の状況】

### １【設備投資等の概要】

当連結会計年度は、9,968百万円の設備投資を行いました。
真空機器事業につきましては、半導体及び電子部品製造装置、FPD製造装置それぞれの事業の評価用機械装置や研究開発用機械装置などに、8,481百万円の投資を行いました。
真空応用事業につきましては、マスクブランクス製造用設備などに、1,487百万円の投資を行いました。
また、当連結会計年度において重要な設備の除却、売却等はありません。

### ２【主要な設備の状況】

(1）提出会社

（2021年６月30日現在）

事業所名 （所在地） | セグメントの名称 | 設備の内容 | 帳簿価額（百万円） | 従業員数(名)
建物及び 構築物 | 機械装置 及び運搬具 | 土地 (面積千㎡) | リース資産 | その他 | 合計
本社・茅ヶ崎工場 (神奈川県茅ヶ崎市) | 真空機器 事業 | 全社管理業務 研究開発業務 FPD製造装置 電子部品製造装置 一般産業用装置 コンポーネント 上記に関わる設備 | 7,553 | 7,294 | 603 (51) | 313 | 275 | 16,039 | 915
富士裾野工場 (静岡県裾野市) | 半導体製造装置に関わる設備 研究開発に関わる設備 | 1,083 | 4,558 | 3,028 (106) | 6 | 52 | 8,726 | 183
千葉富里工場 (千葉県富里市) | 研究開発に関わる設備 | 1,142 | 496 | 363 (25) | － | 21 | 2,022 | 22
千葉富里工場 (千葉県富里市) | 真空応用 事業 | ターゲット製造 設備 | 526 | 55 | 258 (18) | 1 | 7 | 847 | 42
千葉山武工場 (千葉県山武市) | 231 | 94 | 108 (39) | 1 | 3 | 438 | 9

(2）国内子会社

（2021年６月30日現在）

会社名 | 事業所名 （所在地） | セグメントの名称 | 設備の内容 | 帳簿価額（百万円） | 従業員数(名)
建物 及び 構築物 | 機械装置及び運搬具 | 土地 (面積 千㎡) | リース 資産 | その他 | 合計
アルバック東北株式会社 | 本社工場 (青森県八戸市) | 真空機器事業 | 建物及び付帯設備他 | 754 | 116 | － (－) | 32 | 41 | 943 | 304
アルバックテクノ株式会社 | 本社工場他 (神奈川県茅ヶ崎市他) | 真空機器事業 | メンテナンス等サービス設備 | 1,520 | 33 | 1,090 (24) | 58 | 32 | 2,732 | 350
アルバック九州株式会社 | 本社工場 (鹿児島県霧島市) | 真空機器事業 | 工場棟及び配管・動力等生産設備 | 776 | 77 | 2 (0) | 251 | 10 | 1,116 | 227
アルバック機工株式会社 | 本社工場 (宮崎県西都市) | 真空機器事業 | 小型真空ポンプ等生産設備 | 488 | 115 | 51 (50) | 96 | 13 | 763 | 127
アルバック・クライオ株式会社 | 本社工場他 (神奈川県茅ヶ崎市他) | 真空機器事業 | クライオポンプ等生産設備 | 122 | 361 | － (－) | 21 | 44 | 548 | 93
アルバック成膜株式会社 | 本社工場 (埼玉県秩父市) | 真空応用事業 | 真空薄膜製品生産設備 | 1,157 | 397 | 844 (56) | 175 | 46 | 2,619 | 196

(3）在外子会社

（2021年６月30日現在）

会社名 | 事業所名 （所在地） | セグメントの名称 | 設備の内容 | 帳簿価額（百万円） | 従業員数(名)
建物 及び 構築物 | 機械装 置及び 運搬具 | 土地 (面積 千㎡) | リース 資産 | その他 | 合計
ULVAC KOREA,Ltd. | 平澤工場他 (韓国平澤市他) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場 | 1,160 | 249 | 10 (0) | 88 | 48 | 1,554 | 470
愛発科真空技術(蘇州)有限公司 | 本社工場 (中国蘇州市) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場 | 1,444 | 107 | － (－) | － | 31 | 1,582 | 135
愛発科東方真空(成都)有限公司 | 本社工場 (中国成都市) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場 | 578 | 291 | － (－) | － | 58 | 928 | 319
Pure Surface Technology,Ltd. | 本社工場 (韓国平澤市) | 真空機器事業 | 工場棟他 | 1,304 | 326 | 22 (2) | 165 | 93 | 1,911 | 126
ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATED | 本社工場 (韓国平澤市) | 真空機器事業 | 工場棟他 | 529 | 119 | － (－) | 11 | 28 | 688 | 69
愛発科商貿(上海)有限公司 | 本社他 (中国上海市他) | 真空機器事業 | メンテナンス等サービス設備 | 264 | 337 | － (－) | 315 | 32 | 949 | 361
ULVAC TAIWAN INC. | 台南工場他 (台湾台南市他) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場他 | 1,078 | 95 | 577 (2) | 715 | 30 | 2,495 | 291
ULCOAT TAIWAN,Inc. | 本社工場 (台湾台南市) | 真空応用事業 | 工場棟他 | 904 | 762 | 220 (13) | － | 69 | 1,955 | 138
愛発科電子材料(蘇州)有限公司 | 本社工場 (中国蘇州市) | 真空応用事業 | ターゲット製造工場 | 597 | 131 | － (－) | 3 | 137 | 869 | 112
愛発科成膜技術(合肥)有限公司 | 本社工場 (中国合肥市) | 真空応用事業 | 真空薄膜製品生産工場 | 1,138 | 1,747 | － (－) | － | 9 | 2,894 | 32

（注）１．金額には消費税等は含まれておりません。

２．帳簿価額には、建設仮勘定の金額は含まれておりません。

３．現在休止中の主要な設備はありません。

### ３【設備の新設、除却等の計画】

(1）重要な設備の新設等

該当事項はありません。

(2）重要な設備の除却等

該当事項はありません。