## 第３【設備の状況】

### １【設備投資等の概要】

当連結会計年度は、15,715百万円の設備投資を行いました。
真空機器事業につきましては、半導体及び電子部品製造装置、ディスプレイ・エネルギー関連製造装置それぞれの事業の評価用機械装置や研究開発用機械装置等に、13,192百万円の投資を行いました。
真空応用事業につきましては、マスクブランクス製造用設備等に、2,523百万円の投資を行いました。
また、当連結会計年度において重要な設備の除却、売却等はありません。

### ２【主要な設備の状況】

(1）提出会社

（2025年６月30日現在）

事業所名 （所在地） | セグメントの名称 | 設備の内容 | 帳簿価額（百万円） | 従業員 数(名)
建物及び 構築物 | 機械装置 及び運搬具 | 土地 (面積千㎡) | リース資産 | その他 | 合計
本社工場 (神奈川県茅ヶ崎市) | 真空機器 事業 | 全社管理業務 研究開発業務 ディスプレイ・エネルギー関連製造装置 電子部品製造装置 一般産業用装置 コンポーネント 上記に関わる設備 | 6,247 | 7,364 | 1,210 (53) | 162 | 346 | 15,329 | 903
富士裾野工場 (静岡県裾野市) | 半導体製造装置 研究開発業務 上記に関わる設備 | 861 | 9,325 | 3,028 (106) | 0 | 153 | 13,366 | 212
千葉富里工場 (千葉県富里市) | 研究開発業務に関わる設備 | 712 | 601 | 363 (25) | － | 51 | 1,728 | 19
東北工場 (青森県八戸市) | ディスプレイ・エネルギー関連製造装置 電子部品製造装置 上記に関わる設備 | 934 | 39 | 414 (83) | 6 | 41 | 1,435 | 184
九州工場 (鹿児島県霧島市) | ディスプレイ・エネルギー関連製造装置 半導体製造装置 電子部品製造装置 上記に関わる設備 | 1,544 | 12 | 213 (96) | 5 | 25 | 1,800 | 157
千葉富里工場 (千葉県富里市) | 真空応用 事業 | ターゲット製造 設備 | 413 | 25 | 258 (18) | － | 0 | 695 | 18
東北工場 (青森県八戸市) | 477 | 538 | 190 (38) | － | 17 | 1,222 | 61
九州工場 (鹿児島県霧島市) | 940 | 764 | 102 (46) | － | 20 | 1,825 | 64

(2）国内子会社

（2025年６月30日現在）

会社名 | 事業所名 （所在地） | セグメントの名称 | 設備の内容 | 帳簿価額（百万円） | 従業員 数(名)
建物 及び 構築物 | 機械装置及び運搬具 | 土地 (面積 千㎡) | リース 資産 | その他 | 合計
アルバックテクノ株式会社 | 本社工場他 (神奈川県茅ヶ崎市他) | 真空機器事業 | メンテナンス等サービス設備 | 1,215 | 213 | 1,090 (24) | 73 | 122 | 2,713 | 350
アルバック機工株式会社 | 本社工場他 (宮崎県西都市他) | 真空機器事業 | 小型真空ポンプ等生産設備 | 428 | 316 | 51 (50) | 205 | 177 | 1,177 | 177
アルバック・ファイ株式会社 | 本社工場 (神奈川県茅ヶ崎市） | 真空応用事業 | 表面分析装置に関わる設備 | 90 | 1 | － (－) | 0 | 468 | 560 | 133
アルバック成膜株式会社 | 本社工場 (埼玉県秩父市) | 真空応用事業 | 真空薄膜製品生産設備 | 950 | 298 | 844 (56) | 554 | 70 | 2,715 | 187

(3）在外子会社

（2025年６月30日現在）

会社名 | 事業所名 （所在地） | セグメントの名称 | 設備の内容 | 帳簿価額（百万円） | 従業員 数(名)
建物 及び 構築物 | 機械装 置及び 運搬具 | 土地 (面積 千㎡) | リース 資産 | その他 | 合計
ULVAC KOREA,Ltd. | 平澤工場他 (韓国平澤市他) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場 研究開発業務に関わる設備 | 6,365 | 290 | 10 (0) | 128 | 102 | 6,895 | 507
愛発科真空技術(蘇州)有限公司 | 本社工場 (中国蘇州市) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場 | 1,172 | 120 | － (－) | － | 71 | 1,363 | 178
愛発科東方真空(成都)有限公司 | 本社工場 (中国成都市) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場 | 443 | 419 | － (－) | － | 46 | 908 | 184
愛発科東方検測技術(成都)有限公司 | 本社工場 (中国成都市) | 真空機器事業 | 工場棟他 | 2,196 | 132 | － (－) | － | 27 | 2,355 | 261
Pure Surface Technology,Ltd. | 本社工場 (韓国平澤市) | 真空機器事業 | 工場棟他 | 1,774 | 921 | 36 (26) | 541 | 111 | 3,383 | 119
ULVAC CRYOGENICS KOREA INCORPORATED | 本社工場 (韓国平澤市) | 真空機器事業 | 工場棟他 | 488 | 160 | － (－) | 15 | 22 | 685 | 76
愛発科商貿(上海)有限公司 | 本社他 (中国上海市他) | 真空機器事業 | メンテナンス等サービス設備 | 158 | 143 | － (－) | 201 | 37 | 538 | 364
ULVAC TAIWAN INC. | 台南工場他 (台湾台南市他) | 真空機器事業 | 真空装置生産工場他 | 1,410 | 645 | 727 (2) | 984 | 59 | 3,824 | 304
Physical Electronics USA, Inc. | 本社工場 (米国ミネソタ州) | 真空応用事業 | 工場棟他 | 139 | 212 | － (－) | 326 | 14 | 691 | 94
ULTRA CLEAN PRECISION TECHNOLOGIES CORP. | 台南工場他 (台湾台南市他) | 真空機器事業 | 工場棟他 | 78 | 117 | － (－) | 460 | 28 | 683 | 138
ULCOAT TAIWAN,Inc. | 本社工場 (台湾台南市) | 真空応用事業 | 工場棟他 | 789 | 1,023 | 277 (13) | － | 67 | 2,156 | 137
愛発科電子材料(蘇州)有限公司 | 本社工場 (中国蘇州市) | 真空応用事業 | ターゲット製造工場 | 473 | 332 | － (－) | 54 | 162 | 1,021 | 101

（注）１．帳簿価額には、建設仮勘定の金額は含まれておりません。

２．現在休止中の主要な設備はありません。

### ３【設備の新設、除却等の計画】

(1）重要な設備の新設等

該当事項はありません。

(2）重要な設備の除却等

該当事項はありません。