当社グループは、真空技術をキーテクノロジーとした電子部品用薄膜装置を開発・製造し、電子部品・光学部品メーカに販売しております。当社グループを取り巻く経営環境をみると、５Ｇのサービス提供が本格化し、自動車の電装化やモノのデジタル化が着実に進展しています。新型コロナウイルスの世界的な感染拡大は、経済活動の縮小を招き人々の生活に大きな打撃を与える一方で、医療や教育現場を支援する技術やはたらき方の多様化を後押しする製品・サービスの進歩を加速させることとなりました。こうした新しい技術が新しい価値を創出する流れは、電子部品の開発需要につながるものであり、当社グループにとっても真空技術の応用範囲拡大につながるものと前向きに捉えています。
当社グループが、高品質のカスタムメイドの真空装置を提供し、今後も成長していくために重要なことは、顧客の将来のニーズを正しく把握し装置開発に反映することです。既存の開発棟に加え、新たに開発棟を建設することで、顧客からより多くの問合せやサンプル成膜依頼等に迅速に対応するための体制を整えました。当社グループの技術・開発部門に持ち込まれた「種」を「芽」にそして「実」に育てることに、誠実かつ実直に取り組むことが、当社グループの経営方針である「成長するニッチ市場にフォーカス」、「技術力による差別化と独自性の発揮」を実現し、水晶デバイス市場、光学部品市場に続く新しい事業の柱の構築による当社グループの成長と業績の安定につながるものと信じています。
研究開発型企業として技術力・開発力の強化に重点的に取り組むことで、品質管理の強化や装置ユーザーに対するアフターサービスの充実にもつなげてまいります。
有価証券報告書に記載した事業の状況、経理の状況等に関する事項のうち、投資者の判断に重要な影響を及ぼす可能性があると認識している主要なリスクは以下のとおりであります。ただし、以下に記載された項目以外のリスクが生じた場合においても、当社グループの業績及び財務状況に重要な影響を及ぼす可能性があります。当社グループは、これらのリスク発生可能性を認識した上で、発生の回避及び発生した場合の迅速な対応に努めることで、発生後の損失を最小化することを基本方針としております。
なお、文中における将来に関する事項は、有価証券報告書提出日現在入手し得る情報に基づいて当社グループが判断したものであります。
(1) デバイスメーカの設備投資動向等によるリスク
当社グループが製造販売する真空技術応用装置は、水晶デバイス、光学デバイス及び電子部品等を加工するための生産設備であるため、当社グループの業績はこれらデバイスメーカの設備投資動向に影響を受ける傾向にあります。また、デバイスメーカの設備投資は、スマートフォンなどの情報通信機器、デジタル家電等の需要に影響を受ける形となります。近年は最終製品のライフサイクルの短期化傾向が強まっているため、デバイスメーカの設備投資の動向も短期で変動する可能性があります。当社の想定よりも急激な変動が起きた場合、急激な需要増に対応できず受注機会を逸したり、急激な需要減により受注が困難になったり、受注キャンセルが生じる可能性があり、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
当社グループとしては、電子部品市場の動向を注視し、デバイスメーカとの良好な関係から得られた情報等に基づき、人員の手配や稼働日数当の調整により需要の変動に合わせた生産能力となるよう機動的な対策を講じております。
(2) 顧客ニーズの高度化、製品の開発に関わるリスク
当社グループの主要な取引先であるデバイスメーカでは、革新的な新製品の開発を適切なタイミングで実施することが重要となっており、技術革新のスピードが加速し、製品のライフサイクルが短期化しています。そのため、デバイスメーカの当社グループ開発装置に対するニーズが高機能化・高精度化・多様化しており、受注案件によっては技術的に相当程度困難を伴う場合があります。市場・製品動向の変化や当社グループの技術を代替し得る技術革新が想定を超えて発生した場合、予期せぬ新技術への対応や開発期間の長期化、開発費用の増大を招き、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
当社グループでは、継続して新製品を開発するために、必要な研究開発投資を継続して行っております。顧客の開発活動を強力に支援するため、２０１９年度には相模原工場内に新たに研究開発棟を建設しました。受注に際しては、技術的な対応可能性及び収益性を勘案し、開発テーマについては、将来の市場、製品及び技術動向や顧客からの要望などに基づき選定し、その実効性と効率性の向上に努めております。
(3) 販売価格の低下によるリスク
電子部品の価格は、厳しい値下げ要請や同業者間の熾烈な競争により、恒常的に低下する傾向にあります。最近ではアジア地域の電子部品メーカの台頭により価格競争はさらに激しさを増しております。そのため、電子部品の開発や生産設備である当社グループの装置に対しても、取引先であるデバイスメーカから装置販売価格の引下げ要求が恒常化しているうえ、競合する他社メーカとの販売競争が激しさを増しています。価格競争の一層の激化により、販売価格の下落を補うコストダウンや売上の拡大が必ずしも実現できず、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
これに対して当社グループは、継続的かつ積極的なコストダウンを推進し、売上の拡大や収益性の向上に努めております。
(4) 資材の調達に関わるリスク
当社グループは、生産財を全て社外から調達しているため、原材料の価格上昇に伴う仕入価格の上昇や需給逼迫、自然災害等に起因する生産財の調達難による生産への影響があります。また、装置の品質への影響としては、加工業者の加工能力が挙げられます。想定を超える急激な原材料価格の高騰や生産財の供給悪化が発生した場合、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
これに対して当社グループは、仕入先との情報共有、重要資材について政策的な在庫確保、仕入先の分散化などを実施することで安定的な供給確保に努めております。また、品質の維持向上のために必要と判断した場合には、仕入先に対する指導を実施しております。
(5) 個別受注・個別仕様によるリスク
近年、スマートフォンをはじめとする情報通信機器やデジタル家電等の最終消費財のライフサイクルが短くなり、セットマーカは在庫圧縮傾向にあります。そのため、当社グループの主要取引先であるデバイスメーカは、セットメーカからの納入リードタイムの短縮要請が強まっており、当社グループに対しても、以前より厳しい納期での引合いとなる傾向が強まってきております。したがって当社グループは、受注金額、製品仕様等の調整・折衝を行っている段階で、受注確度が高いと判断した場合には、材料等の先行手配や見込生産をすることもありますが、最終的には受注に至らない場合もあり、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
これに対して当社グループは、見込生産の判断については、経営会議で慎重な審議をするとともに可能な限りデバイスメーカの意思表示を確認するよう努めております。また、相対的に他の装置へ転用可能性が高い部材から先行手配をするなどリスク軽減に努めております。
(6) 海外事業展開によるリスク
海外での事業展開においては、当該国・地域の政情、為替、税制等の法制度、金融・輸出入に関する諸規制、社会資本の整備状況、その他地域的特殊性及びこれら諸要因の急激な変化の影響を受ける傾向にあります。当社グループは、中国（上海）に子会社が２社あり、主に中国・台湾を中心としたアジアで事業を展開するデバイスメーカに対して装置納入及びアフターサービスを展開しております。近年の中国を中心とした新興国市場が拡大しており、新興国における政治・経済・紛争など急激な変化が起きた場合には、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
これに対して当社グループは、毎月の経営会議で海外子会社の経営状況を把握するとともに、コンサルティング会社からの継続的な情報収集等により、中国の法規制等の動向を注視し必要な対策を講じております。現時点で新たな海外展開の具体的な計画はありませんが、海外展開にあたり、拠点はインフラの整備状況やサプライチェーンをはじめ生産コストや採算性等を総合的に判断して配置することとしております。特に新興国への進出ではそのリスクを慎重に検討した上で判断することとしております。
(7) 知的財産権によるリスク
当社グループは、真空技術を応用した薄膜形成装置の製造に関する特許を保有し、積極的に新規権利獲得に努めています。特に技術革新の著しい電子部品業界向けの生産設備であるため知的財産権は重要な経営資源のひとつであり、知的財産権の保護、知的財産権にからむ紛争の回避は重要な経営課題であります。しかし、当社グループの知的財産権が第三者により無効とされる可能性、特定の地域で十分な保護が得られない可能性や知的財産権の対象が模倣される可能性もあります。このような場合、当社グループの事業活動に重大な影響を及ぼす可能性があります。
また、結果として第三者の特許を侵害するに至った場合やその他知的財産権に係る紛争が発生した場合には、当社グループの製品の生産・販売が制約を受けたり、損害賠償等の支払いが発生することで当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
これに対して当社グループは、製品等の開発、製造、販売その他事業活動によって、第三者の知的財産権を侵害しないよう、あらかじめ調査を行うとともに継続的に他社特許出願・許諾状況をモニタリングし、リスクの回避に努めております。
(8) 外国為替変動によるリスク
当社グループの海外売上比率は約66％と比較的高く、海外にも子会社を有していることから、生産・販売活動が為替変動の影響を受けます。為替変動は、当社グループの外貨建取引から発生する収益・費用及び資産・負債の円換算額を変動させ、業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
当社グループでは、為替変動リスクを軽減させるため、原則として円建取引をしております。例外的に外貨建取引を行う場合には、為替変動を販売価格に反映させるよう努めております。
（9）災害・感染症等によるリスク
当社グループは、事業所所在地における災害の発生や感染症の流行等により、操業を停止する可能性があります。製造業の基本である安全と向上災害防止に注力していますが、想定を超える事態が発生した場合には、建物や設備の倒壊・破損による損害や感染症等による生産の中断等が発生した場合、顧客への納品が遅延すること等により、当社グループの業績及び財務状況に影響を及ぼす可能性があります。
当社グループでは、災害対策規程を整備して事態発生に備えるとともに、従業員の安全確保を第一にしつつ、災害や感染症の未然防止、早期復旧、取引先との良好な関係の構築に努め、リスク分散に取り組んでおります。
なお、２０２０年年初より顕在化した新型コロナウイルスの感染拡大における当社グループへの具体的な影響としては、海外渡航制限や日本を含む各国の入国制限などが実施されたことで、物流の停滞による資材調達の遅延発生や顧客の海外工場へ出張ができないことで装置の立ち上げ作業ができないことなどにより、生産計画の遅れという形で表れました。新型コロナウイルスの感染拡大に対しては、引き続き衛生管理の徹底や、時差出勤・在宅勤務等の実施により感染防止に取り組んでおります。また、生産計画の遅れに対しては、リモートによる現地作業支援を実施するとともに、渡航制限等に関する情報収集に日々努め、解除された際に速やかに行動に移せるよう準備を進めております。
(1) 経営成績等の状況の概要
当連結会計年度における当社グループ（当社及び連結子会社)の財政状態、経営成績及びキャッシュ・フロー（以下、「経営成績等」という。）の状況の概要は次のとおりであります。
① 財政状態の状況
当連結会計年度における総資産は、前連結会計年度末に比べ23億49百万円増加し、154億71百万円となりました。
(資産)
流動資産は、前連結会計年度末に比べ16億96百万円増加し、116億２百万円になりました。これは主に現金及び預金が７億96百万円、受取手形及び売掛金が５億７百万円増加したことによるものです。
固定資産は、前連結会計年度末に比べ６億53百万円増加し、38億69百万円になりました。これは主に建物および構築物が５億73百万円増加したことによるものです。
(負債)
流動負債は、前連結会計年度末に比べ21億26百万円増加し、53億35百万円になりました。これは主に支払手形及び買掛金が７億20百万円、前受金が６億27百万円、電子記録債務が４億89百万円、未払法人税等が２億53百万円増加したことによるものです。
固定負債は、前連結会計年度末に比べ２億12百万円減少し、８億47百万円になりました。これは主に退職給付に係る負債が２億27百万円減少したことによるものです。
(純資産)
純資産は、前連結会計年度末に比べ４億36百万円増加し、92億88百万円になりました。これは主に利益剰余金が４億87百万円増加したことによるものです。
② 経営成績の状況
当連結会計年度における世界経済及び国内経済は、総じて緩やかな回復基調で推移してきましたが、2020年に入ると新型コロナウイルス感染症の影響が、渡航制限、外出自粛、物流の停滞など様々な形となって表れ、経済活動に大きな打撃を与え、景気は足元で急激に悪化し、先行き不透明感が強まる状況となりました。
当社グループを取り巻く経営環境を見ると、第５世代移動通信システムの本格稼働が目前に迫り、自動車の電装化やモノのデジタル化が着実に進展しており、当社グループの主要取引先である電子デバイスメーカ各社の製品開発への取り組み姿勢は継続しました。業界により濃淡はあるものの、年度はじめには全体的に慎重な姿勢が見られた設備投資も、年度を通じてみると堅調に推移しました。
こうした環境の中、当社グループでは、経営方針である「成長するニッチ市場にフォーカスする」や「技術力による差別化と独自性を発揮する」に従い、好調な市場を捉え、既存分野への深掘りによる拡販を推進するとともに、既存技術応用分野や新規市場の開拓に取り組みました。また、次世代製品に向けた電子デバイスメーカからのサンプル成膜の依頼や共同開発にも積極的に取り組むことで事業の拡大を図りました。相模原工場内に新たに建設していた新開発棟は2月末に完成し、3月に開発装置の移設や技術・開発部門の移動を終え、新年度から本稼働する体制が整いました。
生産面では、全体としては受注残を背景に工場は安定稼働で推移しました。メンテナンス性改善や社内検査による工程ごとの品質の作りこみを継続することで装置の初期不具合の削減に努めるとともに、不具合発生時の早期解消に注力しまいした。しかしながら、第4四半期には、新型コロナウイルス感染症による海外渡航制限や物流の停滞などにより、一部案件について納品スケジュールが後倒しとなる等の影響を受けました。
損益面では、受注済み案件を着実に納品し売上計上しました。一部案件が、新型コロナウイルスの影響による納品の遅れから来期売上となりましたが、生産効率化による量産効果や案件ごとのコスト削減、追加原価の発生抑制に取り組むことで、利益確保に努めました。
この結果、当連結会計年度の業績は、受注高112億58百万円（前年同期比3.8％増）、売上高109億34百万円（同10.0％増）となりました。
損益につきましては、経常利益12億34百万円（前年同期比17.3％増）、親会社株主に帰属する当期純利益８億56百万円（同21.9％増）となりました。
セグメントの業績は次のとおりであります。
a.真空技術応用装置事業
真空技術応用装置事業の業績につきましては、電子デバイスメーカ各社の製品開発への取り組み姿勢は継続しました。長期化する米中の通商問題を巡る動向など景気の不透明感が強まる中で、増産設備投資に対する姿勢は業界により濃淡がありました。新型コロナウイルス感染症の影響が顕在化してからは、様子見となり弱含む展開となりました。
受注高は95億85百万円（前年同期比9.5％増）、売上高は92億60百万円（同18.0％増）、セグメント利益は18億61百万円（同20.5％増）となりました。
業界別の状況は以下のとおりです。
(水晶デバイス装置)
水晶デバイス業界では、第５世代移動通信システムへの対応や自動車の電装化、モノのデジタル化の進展などを背景に、第2四半期以降に持ち直しの動きを見せた国内外ユーザーの設備投資への動きが堅調に推移する中、周波数調整工程向けの装置を中心に拡販に努めました。
水晶デバイス装置の受注高は28億31百万円（前年同期比93.7％増）、売上高は18億63百万円（同2.2％減）となりました。
(光学装置)
光学業界では、受注済案件を着実に納品し売上計上するとともに、マイクロカメラレンズ向け反射防止膜成膜用装置を中心に拡販に努めました。第1四半期には全体的に慎重な姿勢が見られましたが、第2四半期以降は、スマートフォンのカメラ複眼化や高機能化の進展による堅調なレンズ需要に支えられ増産設備投資が実行されました。
光学装置の受注高は58億42百万円（前年同期比18.1％増）、売上高は53億85百万円（同36.5％増）となりました。
(電子部品装置・その他装置)
電子部品業界では、第1四半期にはパソコンに使用される圧電部品の加圧接着工程用装置や車載部品装飾用装置の受注獲得がありましたが、第2四半期以降は設備投資に対して慎重な姿勢が継続しており、全体的に弱含みで推移しました。そのような中、顧客との共同開発やサンプル成膜の依頼に引き続き積極的に対応し、既存技術応用分野や新規市場開拓に努めました。
電子部品装置・その他装置の受注高は９億10百万円（前年同期比61.2％減）、売上高は20億10百万円（同0.7％増）となりました。
b.サービス事業
サービス事業につきましては、当社装置ユーザーに対する定期的な稼働状況確認により、ユーザーが持つ潜在ニーズの掘り起こしに努めるとともに、水晶モニターや光学装置オプション機構などによる顧客の生産性向上提案を推進し、装置の改造・修理や消耗品の販売に努めました。
サービス事業の売上高は16億73百万円（前年同期比20.2％減）、セグメント利益は３億15百万円（同34.8％減）となりました。
③ キャッシュ・フローの状況
当連結会計年度における現金及び現金同等物（以下「資金」という。）は、有形固定資産の取得による支出６億５百万円、売上債権の増加額５億15百万円、配当金の支払額３億67百万円、退職給付に係る負債の減少額２億34百万円、未収消費税等の増加額１億93百万円、たな卸資産の増加額１億69百万円、法人税等の支払額１億67百万円などのマイナスの要因があったものの、税金等調整前当期純利益12億32百万円、仕入債務の増加額12億１百万円、前受金の増加額６億28百万円などのプラスの要因があったことにより、前連結会計年度末に比べ７億93百万円増加し、当連結会計年度末には36億45百万円になりました。
当連結会計年度における各キャッシュ・フローの状況とそれらの要因は次のとおりであります。
（営業活動によるキャッシュ・フロー）
営業活動による資金獲得は18億41百万円（前年同期150.3％増）となりました。これは主に売上債権の増加額５億15百万円、退職給付に係る負債の減少額２億34百万円、未収消費税等の増加額１億93百万円、たな卸資産の増加額１億69百万円、法人税等の支払額１億67百万円などによる使用があったものの、税金等調整前当期純利益12億32百万円、仕入債務の増加額12億１百万円、前受金の増加額６億28百万円などによる獲得があったことによるものです。
（投資活動によるキャッシュ・フロー）
投資活動による資金支出は６億29百万円（前年同期比721.0％増）となりました。これは主に有形固定資産の取得による支出６億５百万円などがあったことによるものです。
（財務活動によるキャッシュ・フロー）
財務活動による資金支出は３億82百万円（前年同期比15.1％減）となりました。これは主に配当金の支払額３億67百万円などによる支出があったことによるものです。
④ 生産、受注及び販売の実績
当連結会計年度の生産実績をセグメントごとに示すと、次のとおりであります。
(注) １．上記の金額は販売価格によっております。
２．上記の金額には、消費税等は含まれておりません。
当連結会計年度の受注実績をセグメントごとに示すと、次のとおりであります。
(注) 上記の金額には、消費税等は含まれておりません。
当連結会計年度の販売実績をセグメントごとに示すと、次のとおりであります。
(注) １．セグメント間の取引については相殺消去しております。
２．上記の金額には、消費税等は含まれておりません。
３．最近２連結会計年度の主な相手先別の販売実績及び当該販売実績の総販売実績に対する割合は、次のとおりであります。
(注) １．上記の金額には、消費税等は含まれておりません。
２．当連結会計年度の三生電子株式会社に対する販売実績は、当該販売実績の総販売実績に対する割合が100分の10に満たないため記載しておりません。
３．前連結会計年度のGENIUS ELECTRONIC OPTICAL(Xiamen)CO.LTD.,及びLargan Precision Co.Ltd.,
に対する販売実績は、当該販売実績の総販売実績に対する割合が100分の10に満たないため記載し
ておりません。
(2) 経営者の視点による経営成績等の状況に関する分析・検討内容
経営者の視点による当社グループの経営成績等の状況に関する認識及び分析・検討内容は次のとおりであります。
なお、文中の将来に関する事項は、当連結会計年度末現在において判断したものであります。
当社グループの連結財務諸表は、わが国において一般に公正妥当と認められる会計基準に基づき作成されております。この連結財務諸表の作成には、経営者による会計方針の選択・適用、資産・負債及び収益・費用の報告金額及び開示に影響を与える見積りを必要としております。経営者は、これらの見積りについて過去の実績等を勘案し合理的に判断しておりますが、実際の結果は、見積り特有の不確実性があるため、これらの見積りと異なる可能性があります。
当社グループが連結財務諸表作成に際して採用している重要な会計方針は、「第５ 経理の状況 １ 連結財務諸表等 (1）連結財務諸表 注記事項 （連結財務諸表作成のための基本となる重要な事項）」に記載しておりますが、特に以下の事項は、経営者の会計上の見積りの判断が財政状態及び経営成績に重要な影響を及ぼすと考えております。
なお、新型コロナウイルス感染症の影響等不確実性が大きく将来事業計画等の見込数値に反映させることが難しい要素もありますが、新型コロナウイルス感染症の影響が今後2021年３月まで続くものと想定し、期末時点で入手可能な情報を基に検証等を行っております。
（繰延税金資産）
当社グループは、繰延税金資産について、将来の利益計画に基づいて課税所得を見積り、回収可能性があると判断した将来減算一時差異について計上しております。なお、当該課税所得を見積もるにあたって、前提とした条件や仮定に変更が生じ、これが減少した場合、繰延税金資産が減額され、税金費用が計上される可能性があります。
a.経営成績等
「(1) 経営成績等の状況の概要 ② 経営成績の状況」をご参照ください。
b.キャッシュ・フローの状況の分析
「(1) 経営成績等の状況の概要 ③ キャッシュ・フローの状況」をご参照ください。
ｃ.経営成績等の状況に関する認識及び分析・検討内容
「第２ 事業の状況 ２ 事業等のリスク」をご参照下さい。
d.資本の財源及び資金の流動性
当社グループの事業活動における資金需要は、運転資金需要と設備資金需要があります。運転資金需要は、原材料等の仕入、販管費及び一般管理費等の営業費用等があります。設備投資資金需要は、機械装置等の取得等であります。これらの運転資金及び設備資金につきましては、内部資金、金融機関からの借入及び社債発行により調達を行っております。
(1) 当社が技術援助等を与えている契約
(注) 対価として一定料率のロイヤリティーを受け取っております。
(2) その他
(注) １．契約期間：1999年４月１日から2004年３月31日まで以後５年毎に自動継続
２．契約期間：1999年４月１日から2004年３月31日まで以後５年毎に自動継続
３．当社は商標使用料として売上総額(株式会社アルバック及びそのグループからの仕入高相当額を除く)の一定率を支払っております。
当社グループは真空技術をベースに、メカトロニクス・薄膜形成技術等の先端技術により、特に情報通信分野に適合した新製品の開発に注力しております。
当社グループの研究開発は要素技術、装置開発、プロセス開発を技術開発部が担当しております。一部門で行うことで、要素開発・装置開発とプロセスを直結し、開発効率を上げ、市場要望に対応した開発を図っております。また、重点開発には、これら基盤技術並びに装置開発について、市場要請に迅速に対応するため、技術部門を中心としたメンバーから構成される社内横断的プロジェクト制を導入して、速やかに研究開発を推進しております。また、お客様からの問合せや依頼実験への対応力を強化するために相模原工場に新たに研究開発棟を建設しました。
2018年度から始めたインダストリー4.0による新サービス提供の為の取り組みは社内での運用を開始しました。
当連結会計年度における研究開発活動は次のとおりです。
水晶デバイス装置
スマートフォン等の高性能化に伴う水晶振動子の極小化に向けて、搬送・測定・調整ユニットの開発を進めています。又ウェハー状の周波数調整技術の開発を行い、既存の個片処理に比べてスループットの増大を実現します。
新方式による水晶膜厚計（ＣＯÅＴＬＥＡＤＥＲ）は、新たに有機EL用途の開発を行い2020年度中の販売を予定しています。
光学装置
スマートフォン等に搭載されているカメラモジュール等の光学部品分野における光学薄膜形成用真空蒸着装置におきまして、高品質の膜質を提供する蒸着装置として改良を加え、低価格のＡＲ専用蒸着装置、量産型フィルター用光学蒸着装置を販売しております。
① 基板直接観測式光学モニターの装置展開
② ＲＦイオンソースの着火性/メンテナンス性改善
③ 省力化・全自動化への挑戦（ロードロック式カルーセルスパッタ装置）
電子部品・その他装置
タブレット・スマートフォン等の移動体通信機器に用いられるSAWフィルター生産ラインの効率化を目指し、電極形成用蒸着装置、アッシング装置、周波数調整装置の開発も継続して進めています。生産ラインのひとつであるSiO2埋め込み用スパッタ装置は、全面見直しを行い引き続き開発を進めています。
当連結会計年度における研究開発費の総額は、