| 1. 특허명칭 | 마스크 어셈블리 |
| 2. 특허 주요내용 |
상기 특허는 반도체 장비에 적용되는 기술임.
본 특허에 따르면, 쉐도우 프레임을 상기 마스크 프레임의 상면과 동일면상 또는 상기 마스크 프레임의 상면보다 아래에 위치하도록 배치하여 가스공급부와 마스크 사이의 거리를 현저히 줄임으로써 종래에 비해 상대적으로 공정마진을 크게 할 수 있게 되어 플라즈마 밀도를 향상시키고 박막의 균일도를 개선할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2018-11-08 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2018-11-08 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
1. 출원번호(국내) : 제10-2016-0177487
2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |