| 1. 특허명칭 | 기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법 |
| 2. 특허 주요내용 |
본 특허는 기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법에 대한 것임.
반도체 기판에 대한 증착, 에칭 등의 공정을 진행하는 경우 기판을 챔버 내부로 로딩하게 되며 기판이 기판지지부에 로딩되기 위하여 중간에 위치한 기판지지부의 리프트핀에 일일이 안착 및 분리 과정을 거치게 되면 기판의 정렬이 틀어질 수 있음. 본 특허는 이와 같은 문제점을 해결하기 위하여, 복수개의 기판을 챔버 내부로 로딩하거나 챔버 내부에서 언로딩하는 경우에 기판과 리프트핀의 접촉을 최대한 방지하여 기판의 오정렬 및 손상을 방지하는 기판처리장치의 기판 로딩 및 언로딩 방법을 제공하는 것을 목적으로 함. |
| 3. 특허권자 | 주식회사 테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2019-09-04 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2019-09-04 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
1. 출원번호(국내) : 제10-2017-0126626
2. 상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임 |