| 1. 특허명칭 | 박막증착장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 특허에 따르면 원자층증착법에 의해 기판에 대한 박막을 증착하는 경우에 생산성(Throughput)을 향상시킬 수 있으며 원자층증착법에 의해 복수의 기판에 박막을 증착하는 경우에 각 기판에 증착되는 막 두께의 균일도를 향상시킬 수 있음 |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-01-03 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-01-03 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
1.출원번호(국내) :10-2017-0098358
2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |