| 1. 특허명칭 | 기판지지유닛 및 이를 구비한 기판처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 |
본 특허는 기판지지유닛의 히터샤프트의 중공부를 이용하여 기판의 중앙부의 온도제어를 가능하게 하는 기판지지유닛 및 이를 구비한 기판처리장치에 대한 것이다.
종래기술에 따른 기판지지유닛은 히터샤프트의 중공부를 통해 파워로드 및 센서라인 등과 같은 각종 라인들이 배치되어, 히터샤프트의 중공부를 통한 기판의 온도제어가 어려움. 이러한 경우, 공정 시에 기판 중앙부의 온도가 적정 온도 이상으로 상승하여 공정 효율을 저해하고 기판 손상을 유발할 수 있음. 그러나 본 특허에 따른 기판지지유닛에 의하면, 히터 또는 감지센서에 연결되는 파워로드 또는 센서라인을 히터샤프트의 중공부가 아니라 히터샤프트의 측벽을 관통하여 배치하고, 히터샤프트의 중공부를 통해 기판 중앙부의 온도제어를 용이하게 수행할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-04-02 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-04-02 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
1.출원번호(국내) :10-2018-0079175
2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허 수수료 납부일자 기준임. |