| 1. 특허명칭 | 냉각모듈 및 이를 구비한 기판지지유닛 |
| 2. 특허 주요내용 |
본 발명은 기판에 대한 증착 또는 에칭 등의 공정을 수행하는 경우에 기판에 대한 국부적인 온도 제어가 가능하며, 나아가 플라즈마를 이용한 공정의 경우에 상기 플라즈마에 의한 온도 상승을 방지할 수 있는 기판지지유닛에 관한 것임.
본 발명에 따르면, 냉각플레이트와 히터 사이의 열전달 면적을 선택적으로 변화시키는 열전달 플레이트를 포함하는 냉각모듈을 구비하여 증착 또는 에칭과 같은 공정을 진행하는 경우 기판에 대한 온도조절이 가능하게 됨. 특히, 기판의 중앙부와 가장자리의 온도제어에 한정되지 않고 기판의 국부적인 영역에 대한 온도 제어가 가능하게 되어 고품질의 공정을 수행할 수 있음. |
| 3. 특허권자 | (주)테스 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-09-04 |
| 5. 특허 활용계획 | 장비 제조시 특허기술 적용을 통한 제품경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-09-04 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
1.출원번호(국내): 10-2018-0079136
2.상기 특허취득일자 및 확인일자는 특허수수료 납부일 기준임. |