| 1. 특허명칭 | 유도 결합 플라즈마 처리장치용 안테나 조립체 및 이를 갖는 유도 결합 플라즈마 처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 |
출원번호:10-2019-0069571
본 발명은 건식식각장비 상하부 사이에 브릿지 안테나를 배치, 장비 내부 절연창 및 프레임바 등 필수 구성물과 안테나 간의 간섭을 최소화하고 연결 안테나 높이를 조절 가능하게 할 수 있다.이는 내부 공정공간안에 형성되는 플라즈마 균일도 향상과 정밀한 플라즈마 밀도 조절이 가능하다. |
| 3. 특허권자 | 인베니아(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2020-09-25 |
| 5. 특허 활용계획 | 현재 대면적 건식식각장비에 우선 적용예정이며,이를통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 기술수준이 향상될 것이다. |
| 6. 확인일자 | 2020-09-25 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
출원번호:10-2019-0069571
-특허취득일자는 특허 수수료 납부일자이며,확인일자는 특허등록 대리인으로부터 통지받은 날입니다. |