| 1. 특허명칭 | 유도 결합 플라즈마 처리장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 건식식각장비 공정챔버의 상부 리드 개폐시 복수 개의 체결부재를 구비하여 장비의 유지보수를 용이하게 함. |
| 3. 특허권자 | 인베니아(주) |
| 4. 특허취득일자 | 2020-11-13 |
| 5. 특허 활용계획 | 대면적 건식식각장비에 적용될 예정이며,이를통해 차세대 유도결합형 플라즈마 방식 건식식각장비의 장비 경쟁력 강화 및 기술수준이 향상될 것이다. |
| 6. 확인일자 | 2020-11-13 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
출원번호:10-2019-0082140
-특허취득일자는 특허 수수료 납부일자이며,확인일자는 특허등록 대리인으로부터 통지받은 날입니다. |