| 1. 특허명칭 | 마이크로 볼로미터 및 마이크로 볼로미터 제조 방법 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 마이크로 볼로미터에 관한 것으로, 보다 상세 하게는 광공진부의 높이를 줄이면서도 적외선 흡수율 저 하를 억제시키기 위한 마이크로 볼로미터 제조방법 및 이 를 통해 제조되는 마이크로 볼로미터에 관한 것이다. |
| 3. 특허권자 | (주)트루윈 |
| 4. 특허취득일자 | 2021-07-30 |
| 5. 특허 활용계획 | 본 특허기술을 활용하여, 반도체 제조공정상에서 마이크로 볼로미터의 광공진부의 높이를 낮춤으로써 마이크로 볼로미터를 지지하는 앵커 사이즈를 대폭 소형화 할 수 있으며, 마이크로 볼로미터 사이즈 소형화에 따른 성능 및 공정수율 저하를 최소화 할 수 있으므로 향후 픽셀 소형화 연구 개발 및 제품 양 산 공정에 적극 활용할 계획입니다. |
| 6. 확인일자 | 2020-07-30 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 | 1. 본 특허는 국내 특허청으로부터 취득하였습니다. (특허 출원 제10-2019-0138669호) 2. 특허취득일자는 특허등록료 납부일 기준입니다. |