| 1. 특허명칭 | 기판 식각 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 본 발명은 기판 식각 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판을 이송하는 구동원에 기인하지 않고, 이송되는 기판의 저면에 접하여 연동 회전되면서, 외부에서 흡수된 식각액을 기판의 저면에 연속적으로 공급할 수 있는 기판 식각 장치를 제공하는 것이다. |
| 3. 특허권자 | ㈜탑엔지니어링 |
| 4. 특허취득일자 | 2019-09-17 |
| 5. 특허 활용계획 | FPD제조 장비의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2019-09-17 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
- 상기 특허는 국내특허임
- 출원번호: 제10-2012-0046983호 - 특허취득일자는 등록료 납부일임 |