| 1. 특허명칭 | 분할형 챔버를 구비하는 기판 열처리 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 분리가능한 분할형 챔버를 구비하여 기판 열처리 장치에 설치되는 부품의 유지 보수 또는 교체를 용이하게 하는 분할형 챔버를 구비하는 기판 열처리 장치 |
| 3. 특허권자 | ㈜탑엔지니어링 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-05-25 |
| 5. 특허 활용계획 | FPD제조 장비의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-05-26 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
- 상기 특허는 국내특허임
- 출원번호 : 제 10-2013-0091487 호 - 특허취득일자는 등록료 납부일임 |