| 1. 특허명칭 | 기판 검사 장치 |
| 2. 특허 주요내용 | 기판의 내부에 존재하는 결함과 기판의 표면에 존재하는 결함을 검출하도록 복수의 기판 검사 유닛을 구비함으로써, 기판의 내부에 존재하는 결함과 기판의 표면에 존재하는 결함을 함께 검출할 수 있음 |
| 3. 특허권자 | ㈜탑엔지니어링 |
| 4. 특허취득일자 | 2020-08-18 |
| 5. 특허 활용계획 | FPD제조 장비의 경쟁력 강화 |
| 6. 확인일자 | 2020-08-19 |
| 7. 기타 투자판단에 참고할 사항 |
- 상기 특허는 국내특허임
- 출원번호 : 제 10-2018-0147080 호 - 특허취득일자는 등록료 납부일임 |