| 1. 제목 | 경기도 연구지원사업(소재,부품,장비산업 자립화) 협약 체결 | |
| 2. 주요내용 |
1. 과제명: TOF(Time-of-flight) 질량분석 방식을 적용한 고속 잔류 기체 분석기 개발
2. 협약처: 경기도 3. 전담기관: 차세대융합기술연구원 4. 주관기관: (주)아스타 5. 참여기관: 원광대학교, 한국기초과학지원연구원 6. 총 수행기간: 19개월 (2020.06.01~2021.12.31) 7. 당해연도 협약기간: 7개월 (2020.06.01~2020.12.31) 8. 당해연도 사업비규모: 총 670,000천원 1) 경기도지원금: 500,000천원 2) 당사배분 경기도지원금: 240,000천원 3) 자기자본: 15,107,143천원 4) 자기자본대비 경기도지원금 비율: 1.59% 9. 개발내용: - 잔류가스분석기(RGA)는 반도체 공정에서 일어나는 반응 및 잔류가스의 변화를 모니터링하고 불순물을 감지하는 센서로 필수적인 장치임 - 반도체 공정이 첨단화됨에 따라 미량 가스를 보다 신속하고(1초이내) 정확하게 모니터링 할 수 있는 진단 센서의 수요가 급증하고 있음. 관련하여 최근 일본 MSI Tokyo사의 InfiTOF와 스위스 TOFWERK사의 EI-TOF를 적용하고자 하는 시도가 있으나, 가격이 고가(3~5억대)이고 기술 지원의 제약이 있음 - 신속 정확한 분석과 모니터링을 위해 소형 TOF-MS(Time-of-flight Mass Spectrometer)를 국내 독자기술로 제품화하여 반도체 생산 공정의 실시간 가스 모니터링에 적용하고자 함 10. 기대효과: - 국내 기술력의 확보로 수입대체 및 수출 증대 효과 및 기업의 반도체, 디스플레이 등의 생산 비용 절감 유도 - 반도체 제작용 기체 반응 조건 최적화로 극미세 반도체 공정의 생산성 제고 - 화학사고의 신속한 대응 및 폭발물 탐지, 제한 물질 남용 방지 등의 실시간 모니터링 가능한 휴대형 측정 장비로 활용 - 산업현장 오염가스 배출원 및 작업장 실내 공기질 규제 등 환경적인 신속한 대처가능 - 국내 분석 장비 기술력 확보 및 분석 장비 분야의 신규 국내 부품 기술 향상 |
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| 3. 결정(확인)일자 | 2020-07-01 | |
| 4. 기타 투자판단에 참고할 사항 | ||
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- 상기 자기자본은 최근 사업연도말(2019년) 개별재무제표 기준입니다.
- 상기 결정(확인)일자는 경기도로부터 본 사업에 대한 협약 체결을 완료한 일자입니다. |
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