<?xml version="1.0" encoding="utf-8"?>
<xbrl
  xml:lang="en-US"
  xmlns="http://www.xbrl.org/2003/instance"
  xmlns:dei="http://xbrl.sec.gov/dei/2023"
  xmlns:link="http://www.xbrl.org/2003/linkbase"
  xmlns:xlink="http://www.w3.org/1999/xlink">
    <link:schemaRef xlink:href="entg-20231102.xsd" xlink:type="simple"/>
    <context id="c-1">
        <entity>
            <identifier scheme="http://www.sec.gov/CIK">0001101302</identifier>
        </entity>
        <period>
            <startDate>2023-11-02</startDate>
            <endDate>2023-11-02</endDate>
        </period>
    </context>
    <dei:EntityCentralIndexKey contextRef="c-1" id="f-21">0001101302</dei:EntityCentralIndexKey>
    <dei:EntityRegistrantName contextRef="c-1" id="f-22">ENTEGRIS INC</dei:EntityRegistrantName>
    <dei:AmendmentFlag contextRef="c-1" id="f-23">false</dei:AmendmentFlag>
    <dei:DocumentType contextRef="c-1" id="f-1">8-K</dei:DocumentType>
    <dei:DocumentPeriodEndDate contextRef="c-1" id="f-2">2023-11-02</dei:DocumentPeriodEndDate>
    <dei:EntityIncorporationStateCountryCode contextRef="c-1" id="f-3">DE</dei:EntityIncorporationStateCountryCode>
    <dei:EntityFileNumber contextRef="c-1" id="f-4">001-32598</dei:EntityFileNumber>
    <dei:EntityTaxIdentificationNumber contextRef="c-1" id="f-5">41-1941551</dei:EntityTaxIdentificationNumber>
    <dei:EntityAddressAddressLine1 contextRef="c-1" id="f-6">129 Concord Road,</dei:EntityAddressAddressLine1>
    <dei:EntityAddressCityOrTown contextRef="c-1" id="f-7">Billerica,</dei:EntityAddressCityOrTown>
    <dei:EntityAddressStateOrProvince contextRef="c-1" id="f-8">MA</dei:EntityAddressStateOrProvince>
    <dei:EntityAddressPostalZipCode contextRef="c-1" id="f-9">01821</dei:EntityAddressPostalZipCode>
    <dei:CityAreaCode contextRef="c-1" id="f-10">978</dei:CityAreaCode>
    <dei:LocalPhoneNumber contextRef="c-1" id="f-11">436-6500</dei:LocalPhoneNumber>
    <dei:WrittenCommunications contextRef="c-1" id="f-12">false</dei:WrittenCommunications>
    <dei:SolicitingMaterial contextRef="c-1" id="f-13">false</dei:SolicitingMaterial>
    <dei:PreCommencementTenderOffer contextRef="c-1" id="f-14">false</dei:PreCommencementTenderOffer>
    <dei:PreCommencementIssuerTenderOffer contextRef="c-1" id="f-15">false</dei:PreCommencementIssuerTenderOffer>
    <dei:Security12bTitle contextRef="c-1" id="f-16">Common stock, $0.01 par value per share</dei:Security12bTitle>
    <dei:TradingSymbol contextRef="c-1" id="f-17">ENTG</dei:TradingSymbol>
    <dei:SecurityExchangeName contextRef="c-1" id="f-18">NASDAQ</dei:SecurityExchangeName>
    <dei:EntityEmergingGrowthCompany contextRef="c-1" id="f-19">false</dei:EntityEmergingGrowthCompany>
    <dei:DocumentPeriodEndDate contextRef="c-1" id="f-20">2023-11-02</dei:DocumentPeriodEndDate>
</xbrl>
